A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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HIGH PURITY CORDIERITE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
Disclosed is a cordierite sintered body comprising from 90 to 98% by volume of a cordierite crystal phase as measured using x ray diffraction, SEM and image processing methods wherein the cordierite sintered body has at least one surface comprising pores having a diameter of from 0.1 to 5 um as measured using SEM and image processing methods. The cordierite sintered body has a Young's modulus of about 125 GPa or greater, and volumetric porosity of less than about 4%. Methods of making the cordierite sintered body are also disclosed.
Est divulgué un corps fritté de cordiérite comprenant de 90 à 98 % en volume d'une phase cristalline de cordiérite tel que mesuré en utilisant des procédés de diffraction des rayons X, MEB et de traitement d'image, le corps fritté de cordiérite ayant au moins une surface comprenant des pores ayant un diamètre de 0,1 à 5 µm tel que mesuré en utilisant les procédés de MEB et de traitement d'image. Le corps fritté de cordiérite présente un module de Young d'environ 125 GPa ou plus, et une porosité volumétrique inférieure à environ 4 %. Sont également divulgués des procédés de fabrication du corps fritté de cordiérite.
HIGH PURITY CORDIERITE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
Disclosed is a cordierite sintered body comprising from 90 to 98% by volume of a cordierite crystal phase as measured using x ray diffraction, SEM and image processing methods wherein the cordierite sintered body has at least one surface comprising pores having a diameter of from 0.1 to 5 um as measured using SEM and image processing methods. The cordierite sintered body has a Young's modulus of about 125 GPa or greater, and volumetric porosity of less than about 4%. Methods of making the cordierite sintered body are also disclosed.
Est divulgué un corps fritté de cordiérite comprenant de 90 à 98 % en volume d'une phase cristalline de cordiérite tel que mesuré en utilisant des procédés de diffraction des rayons X, MEB et de traitement d'image, le corps fritté de cordiérite ayant au moins une surface comprenant des pores ayant un diamètre de 0,1 à 5 µm tel que mesuré en utilisant les procédés de MEB et de traitement d'image. Le corps fritté de cordiérite présente un module de Young d'environ 125 GPa ou plus, et une porosité volumétrique inférieure à environ 4 %. Sont également divulgués des procédés de fabrication du corps fritté de cordiérite.
HIGH PURITY CORDIERITE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
MATÉRIAU DE CORDIÉRITE DE HAUTE PURETÉ DESTINÉ AUX APPLICATIONS DE SEMI-CONDUCTEUR
WALKER LUKE (author) / BISTA SAURAV (author) / DONELON MATTHEW (author) / KENNEDY STEVEN (author)
2021-08-05
Patent
Electronic Resource
English
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
HIGH PURITY CORDIERITE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
| European Patent Office | 2023
HIGH PURITY CORDIERITE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
| European Patent Office | 2022
HIGH PURITY CORDIERITE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR APPLICATION
| European Patent Office | 2024
High purity cordierite materials for semiconductor applications
| European Patent Office | 2022