A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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AIR-PERMEABLE MEMBER, MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE, PLUG, AND ADSORPTION MEMBER
This air-permeable member is made from a columnar or plate-form porous ceramic, and the root mean square slope (RΔq) in a roughness curve of the outer peripheral surface of the porous ceramic is greater than the root mean square slope (RΔq) in a roughness curve of the main surface of the porous ceramic.
Élément perméable à l'air constitué d'une céramique poreuse en forme de colonne ou de plaque, et la pente carrée moyenne de racine (RΔq) dans une courbe de rugosité de la surface périphérique externe de la céramique poreuse est supérieure à la pente carrée moyenne de racine (RΔq) dans une courbe de rugosité de la surface principale de la céramique poreuse.
本開示の通気性部材は、柱状または板状の多孔質セラミックスからなり、該多孔質セラミックスの外周面の粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）が、前記多孔質セラミックスの主面の粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）よりも大きい。
AIR-PERMEABLE MEMBER, MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE, PLUG, AND ADSORPTION MEMBER
This air-permeable member is made from a columnar or plate-form porous ceramic, and the root mean square slope (RΔq) in a roughness curve of the outer peripheral surface of the porous ceramic is greater than the root mean square slope (RΔq) in a roughness curve of the main surface of the porous ceramic.
Élément perméable à l'air constitué d'une céramique poreuse en forme de colonne ou de plaque, et la pente carrée moyenne de racine (RΔq) dans une courbe de rugosité de la surface périphérique externe de la céramique poreuse est supérieure à la pente carrée moyenne de racine (RΔq) dans une courbe de rugosité de la surface principale de la céramique poreuse.
本開示の通気性部材は、柱状または板状の多孔質セラミックスからなり、該多孔質セラミックスの外周面の粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）が、前記多孔質セラミックスの主面の粗さ曲線における２乗平均平方根傾斜（ＲΔｑ）よりも大きい。
AIR-PERMEABLE MEMBER, MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE, PLUG, AND ADSORPTION MEMBER
ÉLÉMENT PERMÉABLE À L'AIR, ÉLÉMENT POUR DISPOSITIF DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEUR, BOUCHON ET ÉLÉMENT D'ADSORPTION
通気性部材、半導体製造装置用部材、プラグおよび吸着部材
MATSUFUJI HIROMASA (author)
2021-11-04
Patent
Electronic Resource
Japanese
AIR-PERMEABLE MEMBER, MEMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE, PLUG, AND ADSORPTION MEMBER
| European Patent Office | 2023