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JOINING TECHNIQUES FOR COMPOSITE CERAMIC BODIES
In joining composite ceramic bodies, at least one ceramic body is a compositionally graded with varying concentrations between two or more ceramic materials. The compositionally graded ceramic body terminates at an interfacial layer that is substantially composed of a single ceramic material. The compositionally graded ceramic body is joined to another ceramic body that may also be compositionally graded or made of a single ceramic material, and an interfacial layer of the other ceramic body is identical in composition with the interfacial layer of the compositionally graded ceramic body. In some embodiments, the ceramic bodies may be joined by diffusion bonding. In some embodiments, the ceramic bodies include a ceramic platen and ceramic stem of a wafer pedestal implemented in a plasma processing apparatus.
Lors de l'assemblage de corps céramiques composites, au moins un corps céramique présente un gradient de composition, avec différentes concentrations entre deux matériaux céramiques ou plus. Le corps céramique à gradient de composition se termine au niveau d'une couche interfaciale qui est pratiquement constituée d'un matériau céramique unique. Le corps céramique à gradient de composition est assemblé à un autre corps céramique qui peut lui aussi présenter un gradient de composition, ou constitué d'un matériau céramique unique, et une couche interfaciale de l'autre corps céramique présente une composition identique à celle de la couche interfaciale du corps céramique à gradient de composition. Dans certains modes de réalisation, les corps céramiques peuvent être assemblés par liaison par diffusion. Dans certaines modes de réalisation, les corps céramiques comprennent une plaque céramique et une tige céramique d'un socle de tranche mis en œuvre dans un appareil de traitement par plasma.
JOINING TECHNIQUES FOR COMPOSITE CERAMIC BODIES
In joining composite ceramic bodies, at least one ceramic body is a compositionally graded with varying concentrations between two or more ceramic materials. The compositionally graded ceramic body terminates at an interfacial layer that is substantially composed of a single ceramic material. The compositionally graded ceramic body is joined to another ceramic body that may also be compositionally graded or made of a single ceramic material, and an interfacial layer of the other ceramic body is identical in composition with the interfacial layer of the compositionally graded ceramic body. In some embodiments, the ceramic bodies may be joined by diffusion bonding. In some embodiments, the ceramic bodies include a ceramic platen and ceramic stem of a wafer pedestal implemented in a plasma processing apparatus.
Lors de l'assemblage de corps céramiques composites, au moins un corps céramique présente un gradient de composition, avec différentes concentrations entre deux matériaux céramiques ou plus. Le corps céramique à gradient de composition se termine au niveau d'une couche interfaciale qui est pratiquement constituée d'un matériau céramique unique. Le corps céramique à gradient de composition est assemblé à un autre corps céramique qui peut lui aussi présenter un gradient de composition, ou constitué d'un matériau céramique unique, et une couche interfaciale de l'autre corps céramique présente une composition identique à celle de la couche interfaciale du corps céramique à gradient de composition. Dans certains modes de réalisation, les corps céramiques peuvent être assemblés par liaison par diffusion. Dans certaines modes de réalisation, les corps céramiques comprennent une plaque céramique et une tige céramique d'un socle de tranche mis en œuvre dans un appareil de traitement par plasma.
JOINING TECHNIQUES FOR COMPOSITE CERAMIC BODIES
TECHNIQUES D'ASSEMBLAGE DE CORPS CÉRAMIQUES COMPOSITES
LEESER KARL FREDERICK (author)
2023-03-09
Patent
Electronic Resource
English
Method of Joining Metal-Ceramic Substrates to Metal Bodies
| European Patent Office | 2018
Method of joining metal-ceramic substrates to metal bodies
| European Patent Office | 2017