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SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SILICON NITRIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Provided is a silicon nitride powder containing silicon nitride and carbon, wherein the mass ratio Cp of carbon to the powder as a whole is 0.05% or greater, and the mass ratio Cs of carbon contained in a surface portion of the powder to the powder as a whole is 0.05% or less. Also provided is a method for producing silicon nitride powder, the method having a step for molding a kneaded product containing silicon powder and an organic binder to obtain a molded body, a step for heating the molded body for one hour or more at a temperature of 900°C to less than 1100°C to degrease the molded article, a step for firing the molded body in a mixed atmosphere containing nitrogen and at least one selected from the group consisting of hydrogen and ammonia to obtain a fired product containing silicon nitride and carbon, and a step for pulverizing the fired product.
L'invention concerne une poudre de nitrure de silicium contenant du nitrure de silicium et du carbone, le rapport massique Cp du carbone à la poudre dans son ensemble valant 0,05 % ou plus et le rapport massique Cs de carbone contenu dans une partie de surface de la poudre à la poudre dans son ensemble valant 0,05 % ou moins. L'invention concerne également un procédé de production de poudre de nitrure de silicium, le procédé comprenant une étape de moulage d'un produit malaxé contenant de la poudre de silicium et un liant organique pour obtenir un corps moulé, une étape de chauffage du corps moulé pendant une heure ou plus à une température de 900°C à moins de 1100°C pour dégraisser l'article moulé, une étape de cuisson du corps moulé dans une atmosphère mixte contenant de l'azote et au moins un élément choisi dans le groupe constitué par l'hydrogène et l'ammoniac pour obtenir un produit cuit contenant du nitrure de silicium et du carbone et une étape de pulvérisation du produit cuit.
窒化ケイ素及び炭素を含む窒化ケイ素粉末であって、粉末全体に対する炭素の質量比率Ｃｐが０．０５％以上であり、粉末全体に対する粉末の表面部に含まれる炭素の質量比率Ｃｓが０．０５％以下である、窒化ケイ素粉末を提供する。ケイ素粉末と有機バインダとを含む混錬物を成形して成形体を得る工程と、成形体を９００℃以上１１００℃未満で１時間以上加熱して脱脂する工程と、成形体を、窒素と、水素及びアンモニアからなる群より選ばれる少なくとも一つと、を含む混合雰囲気下で焼成して窒化ケイ素と炭素とを含む焼成物を得る工程と、焼成物を粉砕する工程と、を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SILICON NITRIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Provided is a silicon nitride powder containing silicon nitride and carbon, wherein the mass ratio Cp of carbon to the powder as a whole is 0.05% or greater, and the mass ratio Cs of carbon contained in a surface portion of the powder to the powder as a whole is 0.05% or less. Also provided is a method for producing silicon nitride powder, the method having a step for molding a kneaded product containing silicon powder and an organic binder to obtain a molded body, a step for heating the molded body for one hour or more at a temperature of 900°C to less than 1100°C to degrease the molded article, a step for firing the molded body in a mixed atmosphere containing nitrogen and at least one selected from the group consisting of hydrogen and ammonia to obtain a fired product containing silicon nitride and carbon, and a step for pulverizing the fired product.
L'invention concerne une poudre de nitrure de silicium contenant du nitrure de silicium et du carbone, le rapport massique Cp du carbone à la poudre dans son ensemble valant 0,05 % ou plus et le rapport massique Cs de carbone contenu dans une partie de surface de la poudre à la poudre dans son ensemble valant 0,05 % ou moins. L'invention concerne également un procédé de production de poudre de nitrure de silicium, le procédé comprenant une étape de moulage d'un produit malaxé contenant de la poudre de silicium et un liant organique pour obtenir un corps moulé, une étape de chauffage du corps moulé pendant une heure ou plus à une température de 900°C à moins de 1100°C pour dégraisser l'article moulé, une étape de cuisson du corps moulé dans une atmosphère mixte contenant de l'azote et au moins un élément choisi dans le groupe constitué par l'hydrogène et l'ammoniac pour obtenir un produit cuit contenant du nitrure de silicium et du carbone et une étape de pulvérisation du produit cuit.
窒化ケイ素及び炭素を含む窒化ケイ素粉末であって、粉末全体に対する炭素の質量比率Ｃｐが０．０５％以上であり、粉末全体に対する粉末の表面部に含まれる炭素の質量比率Ｃｓが０．０５％以下である、窒化ケイ素粉末を提供する。ケイ素粉末と有機バインダとを含む混錬物を成形して成形体を得る工程と、成形体を９００℃以上１１００℃未満で１時間以上加熱して脱脂する工程と、成形体を、窒素と、水素及びアンモニアからなる群より選ばれる少なくとも一つと、を含む混合雰囲気下で焼成して窒化ケイ素と炭素とを含む焼成物を得る工程と、焼成物を粉砕する工程と、を有する、窒化ケイ素粉末の製造方法を提供する。
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SILICON NITRIDE SINTERED BODY AND METHOD FOR PRODUCING SAME
POUDRE DE NITRURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ POUR SA PRODUCTION ET CORPS FRITTÉ EN NITRURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ POUR SA PRODUCTION
窒化ケイ素粉末及びその製造方法、並びに、窒化ケイ素焼結体及びその製造方法
NAKAMURA YUZO (author) / MIYASHITA TOSHIYUKI (author)
2023-10-05
Patent
Electronic Resource
Japanese
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