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SINTERED BORON NITRIDE OBJECT, PRODUCTION METHOD THEREFOR, SETTER, AND VESSEL
Provided is a sintered boron nitride object which has a porosity of 36 vol% or higher, a bending strength of 5 MPa or higher, and a median pore diameter determined from a pore diameter distribution of 0.5 μm or larger. Also provided is a method for producing the sintered boron nitride object having a bending strength of 5 MPa or higher, the method including a step in which a raw-material mixture comprising a powder of hexagonal boron nitride and a powder of amorphous boron nitride is molded and burned, the content of the powder of amorphous boron nitride in the raw-material mixture being higher than the content of the powder of hexagonal boron nitride and a maximum pressure in the molding being less than 50 MPa.
L'invention concerne un objet fritté en nitrure de bore qui présente une porosité de 36 % en volume ou plus, une résistance à la flexion de 5 MPa ou plus, et un diamètre médian de pore déterminé à partir d'une distribution de diamètres de pore de 0,5 µm ou plus. L'invention concerne également un procédé de production de l'objet fritté en nitrure de bore présentant une résistance à la flexion de 5 MPa ou plus, le procédé comportant une étape dans laquelle un mélange de matières premières comprenant une poudre de nitrure de bore hexagonal et une poudre de nitrure de bore amorphe est moulé et brûlé, la teneur en poudre de nitrure de bore amorphe dans le mélange de matières premières étant supérieure à la teneur en poudre de nitrure de bore hexagonal et une pression maximale dans le moulage étant inférieure à 50 MPa.
気孔率が36体積%以上であり、曲げ強さが5MPa以上であり、細孔径分布から求められる細孔のメディアン径が0.5μm以上である窒化ホウ素焼結体を提供する。六方晶窒化ホウ素粉末と非晶質窒化ホウ素粉末とを含む混合原料を成形して焼成する工程を有し、混合原料において非晶質窒化ホウ素粉末の含有量の方が六方晶窒化ホウ素粉末の含有量よりも高く、成形圧の最大値が50MPa未満であり、窒化ホウ素焼結体の曲げ強さが5MPa以上である、窒化ホウ素焼結体の製造方法を提供する。
SINTERED BORON NITRIDE OBJECT, PRODUCTION METHOD THEREFOR, SETTER, AND VESSEL
Provided is a sintered boron nitride object which has a porosity of 36 vol% or higher, a bending strength of 5 MPa or higher, and a median pore diameter determined from a pore diameter distribution of 0.5 μm or larger. Also provided is a method for producing the sintered boron nitride object having a bending strength of 5 MPa or higher, the method including a step in which a raw-material mixture comprising a powder of hexagonal boron nitride and a powder of amorphous boron nitride is molded and burned, the content of the powder of amorphous boron nitride in the raw-material mixture being higher than the content of the powder of hexagonal boron nitride and a maximum pressure in the molding being less than 50 MPa.
L'invention concerne un objet fritté en nitrure de bore qui présente une porosité de 36 % en volume ou plus, une résistance à la flexion de 5 MPa ou plus, et un diamètre médian de pore déterminé à partir d'une distribution de diamètres de pore de 0,5 µm ou plus. L'invention concerne également un procédé de production de l'objet fritté en nitrure de bore présentant une résistance à la flexion de 5 MPa ou plus, le procédé comportant une étape dans laquelle un mélange de matières premières comprenant une poudre de nitrure de bore hexagonal et une poudre de nitrure de bore amorphe est moulé et brûlé, la teneur en poudre de nitrure de bore amorphe dans le mélange de matières premières étant supérieure à la teneur en poudre de nitrure de bore hexagonal et une pression maximale dans le moulage étant inférieure à 50 MPa.
気孔率が36体積%以上であり、曲げ強さが5MPa以上であり、細孔径分布から求められる細孔のメディアン径が0.5μm以上である窒化ホウ素焼結体を提供する。六方晶窒化ホウ素粉末と非晶質窒化ホウ素粉末とを含む混合原料を成形して焼成する工程を有し、混合原料において非晶質窒化ホウ素粉末の含有量の方が六方晶窒化ホウ素粉末の含有量よりも高く、成形圧の最大値が50MPa未満であり、窒化ホウ素焼結体の曲げ強さが5MPa以上である、窒化ホウ素焼結体の製造方法を提供する。
SINTERED BORON NITRIDE OBJECT, PRODUCTION METHOD THEREFOR, SETTER, AND VESSEL
OBJET FRITTÉ EN NITRURE DE BORE, PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ, SUPPORT D'ENFOURNEMENT, ET RÉCIPIENT
窒化ホウ素焼結体及びその製造方法、セッター、並びに容器
NONAKA SHUHEI (author)
2023-10-05
Patent
Electronic Resource
Japanese
Boron nitride ceramic setter plate and preparation method thereof
European Patent Office | 2023
|European Patent Office | 2022
|European Patent Office | 2024
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