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Erzeugung von Reinstwasser in der Elektroindustrie
Forderung nach reinsten Umweltbedingungen infolge der Tendenz zur hoeheren Integrationsdichte der Halbleiterelemente. Durchfuehrung von Wasseranalysen und Zusammensetzung der verschiedenen Rohwaesser. Erzeugung von Reinstwasser durch Ionenaustausch und Umkehrosmose. Beeinflussung der Rohwasserqualitaet bei der Aufbereitung mit und ohne Umkehrosmose in Kombination mit Mischbettfiltern. Nachschaltung einer Ionenaustauscheranlage hinter eine Osmoseanlage zur Nachentsalzung des Wassers. Diskussion internationaler Richtlinien fuer Reinstwasser. Darstellung verschiedener Nachreinigungsstufen. Abhaengigkeit der Leitfaehigkeit von der Betriebszeit eines P-Wickelmoduls fuer Feinstreinigung und eines normalen Zelluloseazetat-Wickelmoduls fuer Feinstreinigung und eines normalen Zelluloseazetat-Wickelmoduls. Problematik der Reinstwasserspeicher und Reinstwasserringleitung zur Reinstwasserherstellung und Durchfuehrung bakteriologischer Untersuchungen des Reinstwassersystems. Massnahmen zur Entkeimung in Ringleitungen. Auswahl geeigneter Werkstoffe fuer Reinstwasseranlagen. (Gentzsch)
Erzeugung von Reinstwasser in der Elektroindustrie
Forderung nach reinsten Umweltbedingungen infolge der Tendenz zur hoeheren Integrationsdichte der Halbleiterelemente. Durchfuehrung von Wasseranalysen und Zusammensetzung der verschiedenen Rohwaesser. Erzeugung von Reinstwasser durch Ionenaustausch und Umkehrosmose. Beeinflussung der Rohwasserqualitaet bei der Aufbereitung mit und ohne Umkehrosmose in Kombination mit Mischbettfiltern. Nachschaltung einer Ionenaustauscheranlage hinter eine Osmoseanlage zur Nachentsalzung des Wassers. Diskussion internationaler Richtlinien fuer Reinstwasser. Darstellung verschiedener Nachreinigungsstufen. Abhaengigkeit der Leitfaehigkeit von der Betriebszeit eines P-Wickelmoduls fuer Feinstreinigung und eines normalen Zelluloseazetat-Wickelmoduls fuer Feinstreinigung und eines normalen Zelluloseazetat-Wickelmoduls. Problematik der Reinstwasserspeicher und Reinstwasserringleitung zur Reinstwasserherstellung und Durchfuehrung bakteriologischer Untersuchungen des Reinstwassersystems. Massnahmen zur Entkeimung in Ringleitungen. Auswahl geeigneter Werkstoffe fuer Reinstwasseranlagen. (Gentzsch)
Erzeugung von Reinstwasser in der Elektroindustrie
Marquardt, K. (author)
Schweizer Maschinenmarkt ; 82 ; 60-65
1982
6 Seiten, 10 Bilder, 7 Tabellen, 7 Quellen
Article (Journal)
German
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Erzeugung von Reinstwasser fuer die Mikroelektronik
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