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    Titel:

    Characterization of excimer lamp photo-deposited ultrathin oxynitride films [2403-24]

    Beteiligte:

    Lynch, S. (Autor:in) / O'Connor, G. M. (Autor:in) / Crean, G. M. (Autor:in) / Zhang, J.-Y. (Autor:in) / Dobowski, J. J. / SPIE

    Kongress:

    Conference, Laser-induced thin film processing ; 1995 ; San Jose; CA

    Erschienen in:

    Laser-induced thin film processing ; 302-311

    PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1995

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISBN:

    0819417505

    ISSN:

    0361-0748

    Medientyp:

    Aufsatz (Konferenz)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Schlagwörter:

    laser induced thin film processing , SPIE

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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