Fabrication by wet etching of multilayer GaAlAs/GaAs microtips for SNOM applications [4098-22]: Fid-Bau Portal

Fabrication by wet etching of multilayer GaAlAs/GaAs microtips for SNOM applications [4098-22]

Gorecki, C. / Khalfallah, S. / Kawakatsu, H. / Arakawa, Y. / SPIE - International Society for Optical Engineering

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Titel:

Fabrication by wet etching of multilayer GaAlAs/GaAs microtips for SNOM applications [4098-22]

Beteiligte:

Gorecki, C. (Autor:in) / Khalfallah, S. (Autor:in) / Kawakatsu, H. (Autor:in) / Arakawa, Y. (Autor:in) / Andrews, D. L. / SPIE - International Society for Optical Engineering

Kongress:

Conference, Optical devices and diagnostics in materials science ; 2000 ; San Diego, CA

Erschienen in:

Optical devices and diagnostics in materials science ; 138-141

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 4098

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISBN:

0819437433

ISSN:

0277-786X

Medientyp:

Aufsatz (Konferenz)

Format:

Sprache:

Englisch

Schlagwörter:

optical devices , SPIE , materials science , optical engineering

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