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    Titel:

    Deposition of Thin Films of Zirconium and Hafnium Boride by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

    Beteiligte:

    Reich, S. (Autor:in) / Suhr, H. (Autor:in) / Hanko, K. (Autor:in) / Szepes, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH- ; 650

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1992

    Format / Umfang:

    650 pages

    ISSN:

    0935-9648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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