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Chemical composition of porous silicon layers studied by IR spectroscopy

Theiss, W. / Grosse, P. / Muender, H. / Lueth, H.

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Titel:

Chemical composition of porous silicon layers studied by IR spectroscopy

Beteiligte:

Theiss, W. (Autor:in) / Grosse, P. (Autor:in) / Muender, H. (Autor:in) / Lueth, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 63 ; 240

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

240 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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