Tungsten deposition by organometallic chemical vapour deposition with organotungsten precursors: Fid-Bau Portal

Tungsten deposition by organometallic chemical vapour deposition with organotungsten precursors

Spee, C. I. M. A. / Verbeek, F. / Kraaijkamp, J. G. / Linden, J. L.

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Titel:

Tungsten deposition by organometallic chemical vapour deposition with organotungsten precursors

Beteiligte:

Spee, C. I. M. A. (Autor:in) / Verbeek, F. (Autor:in) / Kraaijkamp, J. G. (Autor:in) / Linden, J. L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 17 ; 108

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

108 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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