Microstructure and growth of SiC film by excimer laser chemical vapour deposition at low temperatures: Fid-Bau Portal

Microstructure and growth of SiC film by excimer laser chemical vapour deposition at low temperatures

Noda, T. / Suzuki, H. / Araki, H. / Abe, F.

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Titel:

Microstructure and growth of SiC film by excimer laser chemical vapour deposition at low temperatures

Beteiligte:

Noda, T. (Autor:in) / Suzuki, H. (Autor:in) / Araki, H. (Autor:in) / Abe, F. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 28 ; 2763

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

2763 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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