Microstructural and compositional characterization of TiW/Al(0.8%Si)/TiW/PtSi/(100)Si: Fid-Bau Portal

Microstructural and compositional characterization of TiW/Al(0.8%Si)/TiW/PtSi/(100)Si

Ashkenazi, A. / Komem, Y. / Lerner, I.

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Titel:

Microstructural and compositional characterization of TiW/Al(0.8%Si)/TiW/PtSi/(100)Si

Beteiligte:

Ashkenazi, A. (Autor:in) / Komem, Y. (Autor:in) / Lerner, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 65//66 ; 746

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

746 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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