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    Titel:

    Microstructural studies by transmission electron microscopy of the formation of ultrathin PtSi layers with novel silicidation processes

    Beteiligte:

    Jin, S. (Autor:in) / Bender, H. (Autor:in) / Donaton, R. A. (Autor:in) / Maex, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 14 ; 2577-2587

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    11 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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