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Realization of capacitive structures from plasma enhanced chemical vapor deposition process

Monteil, C. / Cros, B. / Berjoan, R. / Durand, J.

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Titel:

Realization of capacitive structures from plasma enhanced chemical vapor deposition process

Beteiligte:

Monteil, C. (Autor:in) / Cros, B. (Autor:in) / Berjoan, R. (Autor:in) / Durand, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 21 ; 41

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

41 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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