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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Thermal Plasma Chemical Vapor Deposition

    Beteiligte:

    Heberlein, J. (Autor:in) / Pfender, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 477

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    477 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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