Investigation of Si-SiO~2 interface properties for bonded silicon-on-insulator: Fid-Bau Portal

Investigation of Si-SiO~2 interface properties for bonded silicon-on-insulator

Yeh, C.-F. / Kao, H.-W. / Chang, B.-S. / Chang, K.-L.

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Titel:

Investigation of Si-SiO~2 interface properties for bonded silicon-on-insulator

Beteiligte:

Yeh, C.-F. (Autor:in) / Kao, H.-W. (Autor:in) / Chang, B.-S. (Autor:in) / Chang, K.-L. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 12 ; 1506

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

1506 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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