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Investigation of interface in silicon-on-insulator by fractal analysis

Liu, X. H. / Chen, J. / Chen, M. / Wang, X.

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Titel:

Investigation of interface in silicon-on-insulator by fractal analysis

Beteiligte:

Liu, X. H. (Autor:in) / Chen, J. (Autor:in) / Chen, M. (Autor:in) / Wang, X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 187 ; 187-191

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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