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Interface Defects of Bonded Silicon Wafers

Reiche, M. / Tong, Q.-Y. / Goesele, U. / Heydenreich, J.

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Titel:

Interface Defects of Bonded Silicon Wafers

Beteiligte:

Reiche, M. (Autor:in) / Tong, Q.-Y. (Autor:in) / Goesele, U. (Autor:in) / Heydenreich, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 1847-1852

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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