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    Titel:

    Kinetic study of silicon carbide deposited from methyltrichlorosilane precursor

    Beteiligte:

    Ching Yi Tsai (Autor:in) / Desu, S. B. (Autor:in) / Chiu, C. C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 9 ; 104

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    104 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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