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Peculiarities of preparing a-SiC:H films from methyltrichlorosilane

Rusakov, G. V. / Ivashchenko, L. A. / Ivashchenko, V. I. / Porada, O. K.

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Titel:

Peculiarities of preparing a-SiC:H films from methyltrichlorosilane

Beteiligte:

Rusakov, G. V. (Autor:in) / Ivashchenko, L. A. (Autor:in) / Ivashchenko, V. I. (Autor:in) / Porada, O. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 184 ; 128-134

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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