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    Titel:

    Ultramicrohardness Measurement of Silicon Nitride Films

    Beteiligte:

    Cai, X. (Autor:in) / Wang, J. F. (Autor:in) / Zhou, P. N. (Autor:in) / Liu, X. H. (Autor:in) / Hoffmann, M. J. / Becher, P. F. / Petzow, G.

    Erschienen in:

    Silicon Nitride 93 ; 547

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    547 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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