Ion Energy Distributions and Sidewall Profiles in Reactive Ion Etching: Fid-Bau Portal

Ion Energy Distributions and Sidewall Profiles in Reactive Ion Etching

May, P. W. / Field, D. / Klemperer, D. F. / Song, Y. P.

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Titel:

Ion Energy Distributions and Sidewall Profiles in Reactive Ion Etching

Beteiligte:

May, P. W. (Autor:in) / Field, D. (Autor:in) / Klemperer, D. F. (Autor:in) / Song, Y. P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 121

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

121 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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