Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs: Fid-Bau Portal

Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs

Meunier, M. / Suys, M. / Tabbal, M. / Izquierdo, R.

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Titel:

Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs

Beteiligte:

Meunier, M. (Autor:in) / Suys, M. (Autor:in) / Tabbal, M. (Autor:in) / Izquierdo, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 79/80 ; 208

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

208 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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