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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Species-specific growth kinetics and film properties in synchrotron radiation-excited Si growth with disilane

    Beteiligte:

    Akazawa, H. (Autor:in) / Utsumi, Y. (Autor:in) / Nagase, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 79/80 ; 299

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    299 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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