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    Titel:

    A Monte Carlo simulation of silicon nitride thin film microstructure in ultraviolet localized-chemical vapor deposition

    Beteiligte:

    Flicstein, J. (Autor:in) / Pata, S. (Autor:in) / Le Solliec, J. M. (Autor:in) / Chun, L. S. H. K. (Autor:in) / Palmier, J. F. (Autor:in) / Courant, J. L. (Autor:in) / Dreysee, H. / Kawazoe, Y. / Wille, L. T. / Demangeat, C.

    Erschienen in:

    Computational modeling of issues in materials science ; 116-126

    COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE ; 10

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    11 pages

    ISSN:

    0927-0256

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 510

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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