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Effects of thermal annealing on the properties of niobium nitride thin films

Hotovy, I. / Srnanek, R. / Buc, D.

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Titel:

Effects of thermal annealing on the properties of niobium nitride thin films

Beteiligte:

Hotovy, I. (Autor:in) / Srnanek, R. (Autor:in) / Buc, D. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 13 ; 1226

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

1226 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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