Annealing effects on zirconium nitride films: Fid-Bau Portal

Annealing effects on zirconium nitride films

Bhuvaneswari, H. B. / Rajagopal Reddy, V. / Chandramani, R. / Mohan Rao, G.

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Titel:

Annealing effects on zirconium nitride films

Beteiligte:

Bhuvaneswari, H. B. (Autor:in) / Rajagopal Reddy, V. (Autor:in) / Chandramani, R. (Autor:in) / Mohan Rao, G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 230 ; 88-93

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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