The impact of substrate properties and thermal annealing on tantalum nitride thin films: Fid-Bau Portal

The impact of substrate properties and thermal annealing on tantalum nitride thin films

Grosser, M. / Munch, M. / Seidel, H. / Bienert, C. / Roosen, A. / Schmid, U.

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Titel:

The impact of substrate properties and thermal annealing on tantalum nitride thin films

Beteiligte:

Grosser, M. (Autor:in) / Munch, M. (Autor:in) / Seidel, H. (Autor:in) / Bienert, C. (Autor:in) / Roosen, A. (Autor:in) / Schmid, U. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 2894-2900

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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