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Copper-Based Metallization in ULSI Structures

Li, J. / Seidel, T. E. / Mayer, J. W.

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Titel:

Copper-Based Metallization in ULSI Structures

Beteiligte:

Li, J. (Autor:in) / Seidel, T. E. (Autor:in) / Mayer, J. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 19 ; 15

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

15 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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