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High resolution dry etching of III-V semiconductor materials using magnetically enhanced discharges

Pearton, S. J.

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Titel:

High resolution dry etching of III-V semiconductor materials using magnetically enhanced discharges

Beteiligte:

Pearton, S. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 27 ; 61

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

61 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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