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Characterization of adsorption in flow type atomic layer epitaxy reactor

Aarik, J. / Siimon, H.

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Titel:

Characterization of adsorption in flow type atomic layer epitaxy reactor

Beteiligte:

Aarik, J. (Autor:in) / Siimon, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 81 ; 281

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

281 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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