NbCl~3 as a precursor in atomic layer epitaxy: Fid-Bau Portal

NbCl~3 as a precursor in atomic layer epitaxy

Elers, K.-E. / Ritala, M. / Leskelae, M. / Rauhala, E.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

NbCl~3 as a precursor in atomic layer epitaxy

Elers, K.-E. / Ritala, M. / Leskelae, M. / Rauhala, E.

NbCl~3 as a precursor in atomic layer epitaxy

Elers, K.-E. / Ritala, M. / Leskelae, M. / Rauhala, E.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

NbCl~3 as a precursor in atomic layer epitaxy

Beteiligte:

Elers, K.-E. (Autor:in) / Ritala, M. (Autor:in) / Leskelae, M. (Autor:in) / Rauhala, E. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 82/83 ; 468

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

468 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

Meng, X.Q. / Tang, S.S. / Han, C. et al. | British Library Online Contents | 2014

Precursor properties of calcium -diketonate in vapor phase atomic layer epitaxy

Aarik, J. / Aidla, A. / Jaek, A. et al. | British Library Online Contents | 1994

Atomic layer epitaxy of germanium

Sugahara, S. / Kitamura, T. / Imai, S. et al. | British Library Online Contents | 1994

Modeling of silicon atomic-layer-epitaxy

Sugahara, S. / Hasunuma, E. / Imai, S. et al. | British Library Online Contents | 1996

Silane gas-source atomic layer epitaxy

Hirose, F. / Suemitsu, M. / Miyamoto, N. | British Library Online Contents | 1992

Nach oben