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In Situ Ellipsometry in Microelectronics

Irene, E. A. / Woollam, J. A.

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Titel:

In Situ Ellipsometry in Microelectronics

Beteiligte:

Irene, E. A. (Autor:in) / Woollam, J. A. (Autor:in) / Auciello, O. / Krauss, A. R.

Erschienen in:

In Situ, Real-Time Characterization of Thin-Film Growth Processes ; 24

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 20

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

24 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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