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In situ control of SiOx composition by spectroscopic ellipsometry

Gallas, B. / Kao, C. C. / Fisson, S. / Vuye, G. / Rivory, J.

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Titel:

In situ control of SiOx composition by spectroscopic ellipsometry

Beteiligte:

Gallas, B. (Autor:in) / Kao, C. C. (Autor:in) / Fisson, S. (Autor:in) / Vuye, G. (Autor:in) / Rivory, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 105 ; 204-207

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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