Plasma cleaning of carbon species for silicon homoepitaxial growth: Fid-Bau Portal

Plasma cleaning of carbon species for silicon homoepitaxial growth

Kim, H. W. / Hwang, W. S. / Lee, C. / Reif, R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Plasma cleaning of carbon species for silicon homoepitaxial growth

Kim, H. W. / Hwang, W. S. / Lee, C. / Reif, R.

Plasma cleaning of carbon species for silicon homoepitaxial growth

Kim, H. W. / Hwang, W. S. / Lee, C. / Reif, R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Plasma cleaning of carbon species for silicon homoepitaxial growth

Beteiligte:

Kim, H. W. (Autor:in) / Hwang, W. S. (Autor:in) / Lee, C. (Autor:in) / Reif, R. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 22 ; 1067-1068

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

2 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Kim, H. W. | British Library Online Contents | 2005

Low-temperature silicon homoepitaxial growth by pulsed magnetron sputtering

Reinig, P. / Fenske, F. / Selle, B. et al. | British Library Online Contents | 2004

Homoepitaxial Growth of Cubic Silicon Carbide by Sublimation Epitaxy

Furusho, T. / Miyanagi, T. / Okui, Y. et al. | British Library Online Contents | 2002

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC Using a Chlorosilane Silicon Precursor

MacMillan, M. F. / Loboda, M. J. / Chung, G. et al. | British Library Online Contents | 2006

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC Using CH~3Cl Carbon Precursor

Koshka, Y. / Lin, H. D. / Melnychuk, G. et al. | British Library Online Contents | 2005

Nach oben