Chemical-Mechanical Planarization of Aluminum-Based Alloys for Multilevel Metallization: Fid-Bau Portal

Chemical-Mechanical Planarization of Aluminum-Based Alloys for Multilevel Metallization

Fury, M. A. / Scherber, D. L. / Stell, M. A.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Chemical-Mechanical Planarization of Aluminum-Based Alloys for Multilevel Metallization

Fury, M. A. / Scherber, D. L. / Stell, M. A.

Chemical-Mechanical Planarization of Aluminum-Based Alloys for Multilevel Metallization

Fury, M. A. / Scherber, D. L. / Stell, M. A.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Chemical-Mechanical Planarization of Aluminum-Based Alloys for Multilevel Metallization

Beteiligte:

Fury, M. A. (Autor:in) / Scherber, D. L. (Autor:in) / Stell, M. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 20 ; 61-64

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Murarka, S. P. / Steigerwald, J. / Gutmann, R. J. | British Library Online Contents | 1993

Chemical mechanical polishing of copper for multilevel metallization

Stavreva, Z. / Zeidler, D. / Ploetner, M. et al. | British Library Online Contents | 1996

Advances in Chemical-Mechanical Planarization

Singh, R. K. / Bajaj, R. | British Library Online Contents | 2002

Particle Technology in Chemical Mechanical Planarization

Kalyan S. Gokhale / Brij M. Moudgil | DOAJ | 2014

Freier Zugriff

Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

Oliver, Michael R. | TIBKAT | 2004

Nach oben