Rapid thermal nitridation of thin chromium films: Fid-Bau Portal

Rapid thermal nitridation of thin chromium films

Russell, S. W. / Li, J. / Alford, T. L. / Oakey, P. R. / Shatas, S. C.

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Titel:

Rapid thermal nitridation of thin chromium films

Beteiligte:

Russell, S. W. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Alford, T. L. (Autor:in) / Oakey, P. R. (Autor:in) / Shatas, S. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 90 ; 455-463

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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