Dopant Diffusion in Strained and Relaxed Si~1~-~xGe~x: Fid-Bau Portal

Dopant Diffusion in Strained and Relaxed Si~1~-~xGe~x

Paine, A. D. N. / Morooka, M. / Willoughby, A. F. W. / Bonar, J. M. / Phillips, P. / Dowsett, M. G. / Cooke, G.

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Titel:

Dopant Diffusion in Strained and Relaxed Si~1~-~xGe~x

Beteiligte:

Paine, A. D. N. (Autor:in) / Morooka, M. (Autor:in) / Willoughby, A. F. W. (Autor:in) / Bonar, J. M. (Autor:in) / Phillips, P. (Autor:in) / Dowsett, M. G. (Autor:in) / Cooke, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 345-348

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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