Mirror polishing of InP wafer surfaces with NaOCl-citric acid: Fid-Bau Portal

Mirror polishing of InP wafer surfaces with NaOCl-citric acid

Morisawa, Y. / Kikuma, I. / Takayama, N. / Takeuchi, M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Mirror polishing of InP wafer surfaces with NaOCl-citric acid

Morisawa, Y. / Kikuma, I. / Takayama, N. / Takeuchi, M.

Mirror polishing of InP wafer surfaces with NaOCl-citric acid

Morisawa, Y. / Kikuma, I. / Takayama, N. / Takeuchi, M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Mirror polishing of InP wafer surfaces with NaOCl-citric acid

Beteiligte:

Morisawa, Y. (Autor:in) / Kikuma, I. (Autor:in) / Takayama, N. (Autor:in) / Takeuchi, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 92 ; 147-150

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Bastidas, J. M. / Pinilla, P. / Polo, J. L. et al. | British Library Online Contents | 2002

Three-Body Microcontact Model of Rough Surfaces and Its Application on Polishing of Wafer

Horng, J. H. / Lee, J. S. / Du, D. C. | British Library Online Contents | 2006

Geopolymer mixture using alkali activator comprising NaCl or NaOCl and by-product of industry

Europäisches Patentamt | 2016

Freier Zugriff

High Throughput SiC Wafer Polishing with Good Surface Morphology

Kato, T. / Wada, K. / Hozomi, E. et al. | British Library Online Contents | 2007

Influence of Polishing Parameters on Chemical Mechanical Polishing Processes of LiTaO~3 Wafer

Yuan, H. / Wei, X. / Du, H. W. et al. | British Library Online Contents | 2006

Nach oben