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    Titel:

    Bisethylacetoacetato Cu(II) as a novel metal-organic precursor for Cu film production by plasma-enhanced chemical vapor deposition toward ultra-large-scale integration metallization

    Beteiligte:

    Hwang, S. T. (Autor:in) / Shim, I. (Autor:in) / Lee, K. O. (Autor:in) / Kim, K. S. (Autor:in) / Kim, J. H. (Autor:in) / Choi, G. J. (Autor:in) / Cho, Y. S. (Autor:in) / Choi, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 11 ; 1051-1060

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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