Alternatively matched r.f.-PECVD system for diamond synthesis: Fid-Bau Portal

Alternatively matched r.f.-PECVD system for diamond synthesis

Choi, Y. / Lee, H. W. / Song, J. S. / Song, Y. S.

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Titel:

Alternatively matched r.f.-PECVD system for diamond synthesis

Beteiligte:

Choi, Y. (Autor:in) / Lee, H. W. (Autor:in) / Song, J. S. (Autor:in) / Song, Y. S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 39 ; L10-L13

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

L10-L13

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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