Properties of fluorinated amorphous diamond like carbon films by PECVD: Fid-Bau Portal

Properties of fluorinated amorphous diamond like carbon films by PECVD

Yu, G. Q. / Tay, B. K. / Sun, Z. / Pan, L. K.

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Titel:

Properties of fluorinated amorphous diamond like carbon films by PECVD

Beteiligte:

Yu, G. Q. (Autor:in) / Tay, B. K. (Autor:in) / Sun, Z. (Autor:in) / Pan, L. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 219 ; 228-237

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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