Structural characteristics of diamond-like nanocomposite films grown by PECVD: Fid-Bau Portal

Structural characteristics of diamond-like nanocomposite films grown by PECVD

Yang, W. J. / Choa, Y. H. / Sekino, T. / Shim, K. B. / Niihara, K. / Auh, K. H.

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Titel:

Structural characteristics of diamond-like nanocomposite films grown by PECVD

Beteiligte:

Yang, W. J. (Autor:in) / Choa, Y. H. (Autor:in) / Sekino, T. (Autor:in) / Shim, K. B. (Autor:in) / Niihara, K. (Autor:in) / Auh, K. H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 57 ; 3305-3310

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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