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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Advanced metallization technology for 256M DRAM

    Beteiligte:

    Kuecher, P. (Autor:in) / Aochi, H. (Autor:in) / Gambino, J. (Autor:in) / Licata, T. (Autor:in) / Matsuda, T. (Autor:in) / Nguyen, S. (Autor:in) / Okazaki, M. (Autor:in) / Palm, H. (Autor:in) / Ronay, M. (Autor:in) / Gessner, T.

    Erschienen in:

    Materials for Advanced Metallization ; 359-366

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 91

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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