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Pearton, S. J.

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Titel:

High ion density dry etching of compound semiconductors

Beteiligte:

Pearton, S. J. (Autor:in) / Balkanski, M. / Kamimura, H. / Mahajan, S.

Erschienen in:

Solid-State Materials for Advanced Technology ; 101-118

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 40

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

18 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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