Fabrication of ultrathin silicon dioxide layers in ultra high vacuum: Fid-Bau Portal

Fabrication of ultrathin silicon dioxide layers in ultra high vacuum

Majamaa, T. / Airaksinen, V.-M. / Sinkkonen, J.

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Titel:

Fabrication of ultrathin silicon dioxide layers in ultra high vacuum

Beteiligte:

Majamaa, T. (Autor:in) / Airaksinen, V.-M. (Autor:in) / Sinkkonen, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 107 ; 172-177

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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