Fast etching and metallization of via-holes in sapphire with the help of radiation by a copper vapor laser: Fid-Bau Portal

Fast etching and metallization of via-holes in sapphire with the help of radiation by a copper vapor laser

Dolgaev, S. I. / Lyalin, A. A. / Simakin, A. V. / Voronov, V. V. / Shafeev, G. A.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Fast etching and metallization of via-holes in sapphire with the help of radiation by a copper vapor laser

Dolgaev, S. I. / Lyalin, A. A. / Simakin, A. V. / Voronov, V. V. / Shafeev, G. A.

Fast etching and metallization of via-holes in sapphire with the help of radiation by a copper vapor laser

Dolgaev, S. I. / Lyalin, A. A. / Simakin, A. V. / Voronov, V. V. / Shafeev, G. A.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Fast etching and metallization of via-holes in sapphire with the help of radiation by a copper vapor laser

Beteiligte:

Dolgaev, S. I. (Autor:in) / Lyalin, A. A. (Autor:in) / Simakin, A. V. (Autor:in) / Voronov, V. V. (Autor:in) / Shafeev, G. A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 109/110 ; 201-205

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Dolgaev, S. I. / Lyalin, A. A. / Simakin, A. V. et al. | British Library Online Contents | 1996

Laser-induced fast etching and metallization of SiC ceramics

Dolgaev, S. I. / Voronov, V. V. / Shafeev, G. A. et al. | British Library Online Contents | 1997

Chemical Vapor Deposition of Copper for Multilevel Metallization

Kaloyeros, A. E. / Fury, M. A. | British Library Online Contents | 1993

Study of Metallization of PCB Holes

Wu, X.-h. / Chen, B. / Pan, J. | British Library Online Contents | 2006

Patterning of copper for multilevel metallization: reactive ion etching and chemical-mechanical polishing

Steinbruechel, C. | British Library Online Contents | 1996

Nach oben