Application of the ferroelectric materials to ULSI memories: Fid-Bau Portal

Application of the ferroelectric materials to ULSI memories

Tarui, Y. / Hirai, T. / Teramoto, K. / Koike, H. / Nagashima, K.

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Titel:

Application of the ferroelectric materials to ULSI memories

Beteiligte:

Tarui, Y. (Autor:in) / Hirai, T. (Autor:in) / Teramoto, K. (Autor:in) / Koike, H. (Autor:in) / Nagashima, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 656-663

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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