Real-time monitoring and control during MBE growth of GaAs/AlGaAs Bragg reflectors using multi-wavelength ellipsometry: Fid-Bau Portal

Real-time monitoring and control during MBE growth of GaAs/AlGaAs Bragg reflectors using multi-wavelength ellipsometry

Johs, B. / Herzinger, C. / He, P. / Pittal, S. / Woollam, J. / Wagner, T.

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Titel:

Real-time monitoring and control during MBE growth of GaAs/AlGaAs Bragg reflectors using multi-wavelength ellipsometry

Beteiligte:

Johs, B. (Autor:in) / Herzinger, C. (Autor:in) / He, P. (Autor:in) / Pittal, S. (Autor:in) / Woollam, J. (Autor:in) / Wagner, T. (Autor:in) / Jantz, W. / Baeumler, M.

Erschienen in:

Solid-State Materials for Advanced Technology ; 134-138

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 44

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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